ULVAC 愛發科 干泵 LR60 LR90 氦氣密封
2025-12-08 17:28:04
fujino
多級羅茨型干泵
LR60
LR90
LR180
LR421
LR421-T
LR300
LR600
LR1200
LR1800
LR3601
LR3601-T(TT)
LR3601-R
LR3601-TR(TTR)
特點
低溫區域均熱化（Model:LR）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控。
用途
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）
規格
| 型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
| 最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
| 到達壓力 | 5.0 Pa | |||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
| 質量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) | |||
| 電流值 | 穩定時 | 6.9 A (at 200V) | 11.2 A (at 200V) | 18.9 A (at 200V) | 20.8 A (at 200V) | |
| 最大值 | 7.3 A (at 200V) | 11.8 A (at 200V) | 20.6 A (at 200V) | 48.5 A (at 200V) | ||
| 冷卻水一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| 氮氣吹掃 | 軸 | 5 SLM | ||||
| 氣鎮 | 0~45 SLM | 沒有 | 0~45 SLM | |||
| 型號 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T (TT) | LR3601-R | LR3601-TR (TTR) | |
| 使用泵 | 干式 真空泵 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
| 機械 增壓泵 | PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C (-T) | PRC-036D | PRC-036D (D-T) | |
| 最大 排氣 速度 | 50Hz | 359 m3/h (5,980 L/min) | 653 m3/h (10,900 L/min) | 1,012 m3/h (16,900 L/min) | 1,701 m3/h (28,350 L/min) | 3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
| 60Hz | 365 m3/h (6,080 L/min) | 701 m3/h (11,700 L/min) | 1,051 m3/h (17,500 L/min) | 1,784 m3/h (29,700 L/min) | |||||
| 到達壓力 | 0.67 Pa | ||||||||
| 最大排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | ||||||||
| 最大排氣口壓力 （排出圧力） | 1~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規格) | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF50 | |||||||
| MBP表面處理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × | T:× TT:× | × | TR:× TTR:〇 | |
| 質量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
| 電源 *2 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
| 電流值 | 穩定時 | 7.0 A (at 200V) | 12.3 A (at 200V) | 13.7 A (at 200V) | 21.4 A (at 200V) | 31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | ||
| 最大值 | 9.6 A (at 200V) | 19.0 A (at 200V) | 24.2 A (at 200V) | 39.8 A (at 200V) | 58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | |||
| 冷卻水 一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
| 冷卻水 出入口壓差 | >0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| 吹掃氣 | 一次 壓力 | 0.1~0.5 MPa | |||||||
| 二次 壓力 | 0.05~0.1 MPa | ||||||||
| N2 吹掃 | 軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | ||||
*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進行MBP表面處理。